Elaboration par PE-MOCVD à injection pulsée et caractérisation de matériaux à forte permittivité de type multicouches ou alliées pour des applications capacités MIM.
Avec l'augmentation accrue du nombre de fonctions embarquées directement au dessus du circuit intégrés, les capacités Métal Isolant Métal (MIM) sont devenues des composants essentiels en microélectronique. Pour permettre une augmentation de la densité d'intégration des composants, des maté...
| Main Author: | |
|---|---|
| Language: | FRE |
| Published: |
2008
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00452477 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/45/24/77/PDF/theseMK.pdf |