Elaboration par PE-MOCVD à injection pulsée et caractérisation de matériaux à forte permittivité de type multicouches ou alliées pour des applications capacités MIM.

Elaboration par PE-MOCVD à injection pulsée et caractérisation de matériaux à forte permittivité de type multicouches ou alliées pour des applications capacités MIM.

Avec l'augmentation accrue du nombre de fonctions embarquées directement au dessus du circuit intégrés, les capacités Métal Isolant Métal (MIM) sont devenues des composants essentiels en microélectronique. Pour permettre une augmentation de la densité d'intégration des composants, des maté...

Full description

Bibliographic Details
Main Author:	Kahn, Maurice
Language:	FRE
Published:	2008
Subjects:	[SPI:NANO] Engineering Sciences/Micro and nanotechnologies/Microelectronics microélectronique matériaux à forte permittivité capacités MIM oxyde d'yttrium couches minces MOCVD PECVD MO-PECVD multicouches alliages
Online Access:	http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00452477 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/45/24/77/PDF/theseMK.pdf

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