Conception et réalisation de capteurs à ondes acoustiques de surface (SAW) à base de nitrure d'aluminium
L'objectif de cette thèse est la conception d'un capteur de pression à ondes de surface utilisant le nitrure d'aluminium (AlN). Les études théoriques, la réalisation et la caractérisation du capteur de pression sur différentes structures à ondes de surface sont présentées. La modélisa...
| Main Author: | |
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| Language: | ENG |
| Published: |
2009
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00540305 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/54/03/05/PDF/thesis_27_01_2009-HoangTrang.pdf |