Élaboration et caractérisation large bande de matériaux "high-k" en structure "MIM"
Afin d'améliorer les performances électriques des circuits intégrés (densité d'intégration, vitesse et fiabilité), des matériaux à permittivité élevée sont introduits dans les composants passifs, notamment les capacités " Métal-Isolant-Métal " (MIM). De nombreux diélectriques, al...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
2010
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00555345 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/55/53/45/PDF/ThA_se_Bertaud_Thomas.pdf |