Intégration de matériaux à forte permittivité électrique (High-k) dans les mémoires non-volatiles pour les générations sub-45nm

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Bibliographic Details
Main Author: Bocquet, Marc
Language:FRE
Published: 2009
Subjects:
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00559617
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/55/96/17/PDF/TheseBocquetMarc.pdf