CONTROLE DIMENSIONNEL SUB‐MICROMETRIQUE UTILISANT UN APPAREIL GONIOMETRIQUE BIDIMENSIONNEL RAPIDE Application à la microélectronique
Le travail présenté dans ce mémoire traite du contrôle dimensionnel optique pour la microélectronique et de l'adaptation d'un instrument à cette application. Le premier point clé de cette technique de métrologie est la possibilité de calculer le champ diffracté par une structure périodique...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
2005
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00635227 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/63/52/27/PDF/ThA_se_JPetit.pdf |