Simulation électromagnétique utilisant une méthode modale de décomposition en ondelettes
De nos jours, dans le monde de la microélectronique, la métrologie joue un rôle très important dans le contrôle de la fabrication de semi-conducteurs. Une technique de caractérisation optique basée sur l'analyse de la diffraction de la lumière par un objet, la scattéromètrie, s'avère une t...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université de Grenoble
2011
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00690418 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/69/04/18/PDF/THESE_ANA_ARMEANU.pdf |