Caractérisation de transport des électrons dans les transistors MOS à canal court

La qualité du transport électronique est l'une des clés permettant de soutenir la progression des performances pour les futures générations de composants. De très nombreux facteurs, comme le choix de l'isolant et du métal de grille, le matériau de canal ou la présence de contraintes mécani...

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Bibliographic Details
Main Author: Subramanian, Narasimhamoorthy
Language:fra
Published: Université de Grenoble 2011
Subjects:
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00720613
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/72/06/13/PDF/Subramanian_Narasimhamoorthy_2011_Archivage.pdf