Etude et réalisation d'une platine porte-échantillon aux performances nanométriques. Application à la microscopie en champ proche.
Malgré la présence d'appareils très performants tels que les microscopes électroniques et en champ proche, les capacités à mesurer des dimensions nanométriques avec des incertitudes de quelques nanomètres constitue un véritable verrou technologique pour la fabrication en grand volume de composa...
| Main Author: | |
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| Language: | fra |
| Published: |
Université de Versailles-Saint Quentin en Yvelines
2010
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00741942 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/74/19/42/PDF/these-ahmad-sinno-25042010.pdf http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/74/19/42/ANNEX/JAP-106-044913-2009.pdf http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/74/19/42/ANNEX/RSI-78-095107-2007.pdf |