Etude des propriétés électro-thermo-mécaniques de nanofils en silicium pour leur intégration dans les microsystèmes
Les propriétés électro-thermo-mécaniques remarquables qui peuvent apparaître dans les nanofils de silicium font l'objet d'un nombre croissant de travaux de recherche. Ces travaux de thèse de nature fortement expérimentale, visent à donner une meilleure connaissance de ces propriétés dans l...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université Paris Sud - Paris XI
2012
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| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00749756 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/74/97/56/PDF/VD2_ALLAIN_PIERRE_20092012.pdf |