Nouvelles méthodes pseudo-MOSFET pour la caractérisation des substrats SOI avancés
Les architectures des dispositifs Silicium-Sur-Isolant (SOI) représentent des alternatives attractives par rapport à celles en Si massif grâce à l'amélioration des performances des transistors et des circuits. Dans ce contexte, les plaquettes SOI doivent être d'excellente qualité.Dans cett...
| Main Author: | |
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| Language: | fra |
| Published: |
Université de Grenoble
2012
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00796613 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/79/66/13/PDF/30769_EL.pdf |