Compensation de la fréquence des résonateurs MEMS pour des applications de référence temps

A l'heure actuelle, les Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS) sont devenusincontournables dans les produits technologiques quotidiens. De par leur taille,leurs performances et leur intégration, les microsystèmes résonants se sontinscrits dans la diversification de la fameuse Loi de Moore. Cep...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Civet, Yoan
Language:fra
Published: Université de Grenoble 2012
Subjects:
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00838019
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/87/07/65/PDF/24263_CIVET_2012_archivage.pdf