Etude et microstructuration de composants et microsystèmes en couches épaisses
Ces activités de recherche sont principalement orientées vers la conception et la microstructuration des composants et microsystèmes à l'aide de technologies alternatives mais souvent complémentaires à la technologie Silicium. Elles comportent quatre périodes principales. En 1992, mes travaux d...
| Main Author: | |
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| Language: | fra |
| Published: |
Université Sciences et Technologies - Bordeaux I
2013
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| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00994767 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/99/47/67/PDF/dossier_HDR_H.DebA_da_IMS_Bdx1_04_2013.pdf |