Thermisch und elektronenstrahlinduzierte Mikrostrukturveraenderungen in Plasmapolymer-Metall-Compositschichten
Plasmapolymer-Metall-Compositschichten werden durch alternierende Plasmapolymerisation und thermische Verdampfung hergestellt. Dabei entsteht ein Mehrlagensystem aus Plasmapolymergrund-, Composit- und Plasmapolymerdeckschicht mit einer Gesamtdicke von ca. 100 nm. Die Informationen ueber Groesse, For...
Main Author: | |
---|---|
Other Authors: | |
Format: | Doctoral Thesis |
Language: | German |
Published: |
1997
|
Subjects: | |
Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700113 https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A17340 https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17340/attachment/ATT-0/ https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17340/attachment/ATT-1/ https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17340/attachment/ATT-2/ |