Röntgenstrukturuntersuchungen von Oxinitridschichten auf Chrom- und Zirkoniumbasis

Röntgenstrukturuntersuchungen von Oxinitridschichten auf Chrom- und Zirkoniumbasis

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Im Rahmen der vorliegenden Arbeit werden Röntgenanalysen an dünnen Schichten, die mittels reaktiver Magnetronzerstäubung hergestellt wurden, durchgeführt. Zuerst werden die theoretischen Grundlagen der Röntgenanalyse und der Herstellungsmethode behandelt. Es folgen Experimente an auf Chrom- und auf...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Collard, Stéphane
Other Authors: Technische Universität Chemnitz
Format: Doctoral Thesis
Language:German
Published: 1999
Subjects:
info:eu-repo/classification/ddc/600
ddc:600
info:eu-repo/classification/ddc/660
ddc:660
info:eu-repo/classification/ddc/530
ddc:530
Dünne Schicht
Röntgenstrukturanalyse
Magnetronsputtern
Härte
Modellierung
Korngröße
Oxinitrid
Vorzugsorientierung
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199900141
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A17546
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17546/attachment/ATT-0/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17546/attachment/ATT-1/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17546/attachment/ATT-2/

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199900141
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A17546
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17546/attachment/ATT-0/
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https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17546/attachment/ATT-2/

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