Kupfer- und Ruthenium-Precursoren: Synthese, Charakterisierung und deren Verwendung zur Abscheidung metallischer Schichten nach dem CVD-Verfahren

Kupfer- und Ruthenium-Precursoren: Synthese, Charakterisierung und deren Verwendung zur Abscheidung metallischer Schichten nach dem CVD-Verfahren

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Die vorliegende Arbeit befasst sich mit neuartigen Kupfer(I)- und Ruthenium(II)-komplexen und deren Verwendung als CVD-/ALD-Precursoren. Die Synthese Lewis-Basen-stabilisierter Kupfer(I)-β-Diketonat- bzw. -Carboxylat-Komplexe des Typs [LnMX] (M = Cu(I), X = Acetylacetonat, Iminopentenolat, Carboxyla...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Roth, Nina
Other Authors: Lang, Heinrich
Format: Doctoral Thesis
Language:German
Published: 2009
Subjects:
info:eu-repo/classification/ddc/540
ddc:540
Carboxylate
Diketonate <beta>
Effusionsmethode
Kupfer
MOCVD-Verfahren
Phosphane
Phosphite
Ruthenium
Thermogravimetrie
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200901579
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A18155
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A18155/attachment/ATT-0/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A18155/attachment/ATT-1/

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200901579
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A18155
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