Entwicklung einer kontaktfreien nichtdestruktiven Methode zur Messung von mechanischen und elastischen Eigenschaften von mikromechanischen Mehrschichtsystemen mit akustischen Oberflächenwellen
Mit dieser Arbeit wird ein Beitrag zur Weiterentwicklung der akustischen lasermesstechnischen Verfahren zur Ermittlung von mechanischen und elastischen Eigenschaften von mikromechanischen Mehrschichtsystemen geleistet. Zu diesen Eigenschaften zählen das E-Modul, die Dichte, die Dicke sowie die Poiss...
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Format: | Doctoral Thesis |
Language: | German |
Published: |
Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz
2009
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Subjects: | |
Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200901613 https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A19208 https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A19208/attachment/ATT-0/ https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A19208/attachment/ATT-1/ |