Entwicklung einer kontaktfreien nichtdestruktiven Methode zur Messung von mechanischen und elastischen Eigenschaften von mikromechanischen Mehrschichtsystemen mit akustischen Oberflächenwellen

Entwicklung einer kontaktfreien nichtdestruktiven Methode zur Messung von mechanischen und elastischen Eigenschaften von mikromechanischen Mehrschichtsystemen mit akustischen Oberflächenwellen

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Mit dieser Arbeit wird ein Beitrag zur Weiterentwicklung der akustischen lasermesstechnischen Verfahren zur Ermittlung von mechanischen und elastischen Eigenschaften von mikromechanischen Mehrschichtsystemen geleistet. Zu diesen Eigenschaften zählen das E-Modul, die Dichte, die Dicke sowie die Poiss...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Bennis, Abdelali
Other Authors: Dötzel, Wolfram
Format: Doctoral Thesis
Language:German
Published: Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz 2009
Subjects:
info:eu-repo/classification/ddc/620
ddc:620
Dicke
Elastizitätsmodul
Lichtmodulator
Dichte
Germaniumkonzentration
Glasmasken
Poissonzahl
akustische Lasermesstechnik
akustische Oberflächenwellen
mikromechanische Mehrschichtsysteme
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200901613
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A19208
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A19208/attachment/ATT-0/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A19208/attachment/ATT-1/

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200901613
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A19208
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A19208/attachment/ATT-0/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A19208/attachment/ATT-1/

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