Dynamic parameter identification techniques and test structures for microsystems characterization on wafer level

Dynamic parameter identification techniques and test structures for microsystems characterization on wafer level

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In der vorliegenden Arbeit wird eine Methode zur Charakterisierung von Mikrosystemen mit beweglichen Komponenten dargestellt. Sie erlaubt, funktionsrelevante Parameter und deren Schwankungen produktionsbegleitend auf Waferlevel zu ermitteln. Dabei wird vorausgesetzt, dass die Sollform der Struktur u...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Shaporin, Alexey
Other Authors: Dötzel, Wolfram
Format: Doctoral Thesis
Language:English
Published: Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz 2010
Subjects:
info:eu-repo/classification/ddc/000
ddc:000
info:eu-repo/classification/ddc/500
ddc:500
info:eu-repo/classification/ddc/530
ddc:530
info:eu-repo/classification/ddc/600
ddc:600
info:eu-repo/classification/ddc/620
ddc:620
MEMS
Messtechnik
Mikrosystemtechnik
Eigenfrequencies
FEM
Laser-Doppler-Vibrometry
measurement technique
process tolerances
quality control
test structures
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200901902
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A19237
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A19237/attachment/ATT-0/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A19237/attachment/ATT-1/

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200901902
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A19237
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A19237/attachment/ATT-0/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A19237/attachment/ATT-1/

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