Dynamic parameter identification techniques and test structures for microsystems characterization on wafer level
In der vorliegenden Arbeit wird eine Methode zur Charakterisierung von Mikrosystemen mit beweglichen Komponenten dargestellt. Sie erlaubt, funktionsrelevante Parameter und deren Schwankungen produktionsbegleitend auf Waferlevel zu ermitteln. Dabei wird vorausgesetzt, dass die Sollform der Struktur u...
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Other Authors: | |
Format: | Doctoral Thesis |
Language: | English |
Published: |
Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz
2010
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Subjects: | |
Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200901902 https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A19237 https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A19237/attachment/ATT-0/ https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A19237/attachment/ATT-1/ |