Ionenstrahlinduzierte Wachstumsprozesse amorpher Schichten in Silicium
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Language: | English |
Published: |
Forschungszentrum Rossendorf
2010
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Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-31196 https://hzdr.qucosa.de/id/qucosa%3A21946 https://hzdr.qucosa.de/api/qucosa%3A21946/attachment/ATT-0/ |