Spezielle Anwendungen der Transmissionselektronenmikroskopie in der Siliziumhalbleiterindustrie
Die außerordentlichen Steigerungen der Funktionalität und Produktivität in der Halbleiterindustrie sind zum wesentlichen Teil auf eine Verkleinerung der Strukturdetails auf einer logarithmischen Skala über die letzten Jahrzehnte zurückzuführen. Sowohl zur Kontrolle des Fertigungsergebnisses als auch...
| Main Author: | |
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| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | deu |
| Published: |
Technische Universitaet Bergakademie Freiberg Universitaetsbibliothek "Georgius Agricola"
2015
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:105-qucosa-160699 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:105-qucosa-160699 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/16069/HabilschriftMuehle.pdf |