Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie zur Untersuchung von ZrO2-Schichtwachstum im Anfangsstadium

Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie zur Untersuchung von ZrO2-Schichtwachstum im Anfangsstadium

Die vorliegende Arbeit entstand im Rahmen einer Kooperation des Forschungszentrums Dresden-Rossendorf mit Qimonda Dresden GmbH & Co. OHG. Mithilfe der hochauflösenden Rutherford-Streuspektrometrie (HR-RBS) wurden das Diffusionsverhalten und Schichtwachstum von ZrO2 auf SiO2 und TiN im Anfangssta...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Vieluf, Maik
Other Authors: Technische Universität Dresden, Fakultät Mathematik und Naturwissenschaften
Format: Doctoral Thesis
Language:deu
Published: Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden 2010
Subjects:
Ionen-Festkörper-Wechselwirkung
RBS
Rutherford-Streuspektrometrie
HR-RBS
Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie
Ladungszustandsverteilung im Nichtgleichgewicht
Einzelkollision
ALD
Atomlagenwachstum
Schichtwachstum
Inselwachstum
AFM
Rasterkraftmikroskopie
Diffusion
Schichtdickenvariation
Oberflächenrauigkeit
Zweidimensionaler positionsempfindlicher Detektor
Browne-Buechner-Spektrometer
Hafnium
Zirkonium
Titan
high-k Material
Halbleiterindustrie
DRAM
Grenzflächen
High Resolution Rutherford Backscattering Spectrometry
Atomic Force Microscopy
Atomic Layer Deposition
Ion Beam Interaction
Single Collision
high-k Oxide
Semiconductor industry
Dynamic Random Access Memory
Intermediate Layer
Interface
Island growth
Surface Roughness
ddc:530
rvk:UP 7500
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-38113
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-38113
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/3811/Vieluf%20-%20Thesis%202010.pdf

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-38113
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-38113
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/3811/Vieluf%20-%20Thesis%202010.pdf

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