Elastische Rückstoßatomspektrometrie leichter Elemente mit Subnanometer-Tiefenauflösung

Elastische Rückstoßatomspektrometrie leichter Elemente mit Subnanometer-Tiefenauflösung

In der vorliegenden Arbeit wird erstmals das QQDS-Magnetspektrometer für die höchstauflösende Ionenstrahlanalytik leichter Elemente am Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf umfassend vorgestellt. Zusätzlich werden sowohl alle auf die Analytik Einfluss nehmenden Parameter untersucht als auch Methoden...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Kosmata, Marcel
Other Authors: Technische Universität Dresden, Fakultät Mathematik und Naturwissenschaften
Format: Doctoral Thesis
Language:deu
Published: Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden 2012
Subjects:
Ionenstrahlanalyse leichter Elemente
Ionen-Festkörper-Wechselwirkung
ERD
Elastische Rückstoßatomspektrometrie
HR-ERD
höchstauflösende ERD
hochauflösende ERD
Teilchenbeschleuniger
Teilchenspektrometer
QQDS Magnetspektrometer
Dipolmagnet
magnetischer Quadrupol
magnetischer Sextupol
Ionenstrahloptik
Kinematische Korrektur mit Hilfe von Quadrupolen
Fokalebenendetektor für höchstauflösende ERD
Bragg-Ionisationskammer
ortsempfindlicher Proportionalzähler
Isobutan
dynamisches Ladungszustandsgleichgewicht
Ladungszustandsreraxation
effektive Ladungszustand
Abschirmlänge
Energieverlust im Nichtgleichgewicht
Ladungszustandsverteilung im dynamischen Gleichgewicht
Ladungszustandsverteilung im dynamischen Nichtgleichgewicht
Schädigung durch Ionenstrahl
Ionenimplantation
Elementmischung an Grenzflächen
Oberflächenzerstäubung
Probenscan zur Reduzierung der Fluenz
Oberflächenrauheit
Grenzflächenrauheit
Zwischenschichten an Grenzflächen
Tiefenauflösung
SiO2
Siliziumdioxid
ONO Schichten
Ultra-Shallow-Junction Bor-Implantationsprofile
High-K Materialien
ultradünne Oxidschichten
ion beam analysis of light elements
Ion-solid interaction
Elastic Recoil Detection
High Resolution Ion Beam Depth Profiling
High Resolution Elastic Recoil Detection
Particle accelerator
magnetic spectrometer
QQDS magnetic spectrometer
dipole magnet
quadrupole magnet
sextupole magnet
ion beam optics kinematic correction
focal plane detector
Bragg ionization chamber
proportional counter
isobutane
dynamic charge state equilibrium
charge state relaxation
energy loss
stopping power
charge state distribution
ion beam damage
ion beam modification
ion beam mixing
sputtering
electronic sputtering
sample scan to reduce fluence
surface roughness
depth resolution
silicon dioxide
ONO layer
Ultra-Shallow-Junction Boron implantation profile
high-k material
ultra-thin layers
ddc:530
rvk:UM 2200
rvk:UH 6220
rvk:UM 5000
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-84041
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-84041
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/8404/Dissertation_Kosmata.pdf

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-84041
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-84041
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/8404/Dissertation_Kosmata.pdf

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