Charakterisierung reaktiver Prozesse bei der katodischen Vakuumbogenverdampfung

Charakterisierung reaktiver Prozesse bei der katodischen Vakuumbogenverdampfung

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In der vorliegenden Arbeit werden die waehrend der reaktiven Vakuumbogenverdampfung ablaufenden Prozesse untersucht und eine modellmaessige Beschreibung des Gesamtprozesses entwickelt. Das Verfahren wird zur Herstellung von duennen Schichten zahlreicher chemischer Verbindungen, insbesondere von...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Kuehn, Michael
Other Authors: TU Chemnitz, Fakultät für Naturwissenschaften
Format: Doctoral Thesis
Language:deu
Published: Universitätsbibliothek Chemnitz 1997
Subjects:
optische Emissionsspektroskopie
Plasmadiagnostikverfahren
Metalldampfplasma
Katodenbrennfleck
Vakuumbogenverdampfung
Hartstoffschichten
physikalische Schichtabscheidung
ddc:530
Zirkonium
Chrom
Titan
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700469
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700469
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4084/pro.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4084/pro.ps
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4084/19970046.txt

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700469
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700469
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4084/pro.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4084/pro.ps
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4084/19970046.txt

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