Mikromechanisches kraftgekoppeltes Sensor-Aktuator-System für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen

Mikromechanisches kraftgekoppeltes Sensor-Aktuator-System für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen

Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung und Charakterisierung eines mikromechanischen kraftgekoppelten Schwingsystems für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen. Es wird ein neuartiges Prinzip vorgestellt, das es ermöglicht, niederfrequente Vibrationen frequenzselektiv zu er...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Forke, Roman
Other Authors: TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Format: Doctoral Thesis
Language:deu
Published: Universitätsbibliothek Chemnitz 2013
Subjects:
Mikrotechnologie
elektromechanische Modulation
kraftgekoppelte Schwinger
resonante Schwingungsdetektion
Breitbandschwinger
frequenzselektiv
kapazitiv
BDRIE
Systemsimulation
mechanischer Spektrumanalyzer
microtechnology
MEMS
condition monitoring
electro mechanical modulation
force coupled oscillator
resonant vibration detection
resonator
wideband
damping
capacitive detection
BDRlE technology
vibration sensor
wafer level test
system simulation
mechanical spectrum analyzer
ddc:600
ddc:620
ddc:629
Zustandsüberwachung
Resonator
Dämpfung
Vibrationssensor
Charakterisierung
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-100498
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-100498
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/10049/Dissertation_Roman_Forke.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/10049/signatur.txt.asc

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-100498
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-100498
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/10049/Dissertation_Roman_Forke.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/10049/signatur.txt.asc

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