Ionenstrahlinduzierte Wachstumsprozesse amorpher Schichten in Silicium
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Format: | Others |
Language: | English |
Published: |
Forschungszentrum Dresden
2010
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Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-31196 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-31196 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/3119/843.pdf |