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Ein Beitrag zur Kohlenstoffkontrolle bei der VGF-Züchtung von semi-isolierenden GaAs-Kristallen

Ein Beitrag zur Kohlenstoffkontrolle bei der VGF-Züchtung von semi-isolierenden GaAs-Kristallen

Erstmalig wurden für die VGF-Züchtung von GaAs-Kristallen die verschiedenen Möglichkeiten der Beeinflussung der Kohlenstoffkonzentration untersucht und Möglichkeiten zu deren zielstrebigen Einstellung aufgezeigt. Dies eröffnet auch für die so gezüchteten Kristalle den semi-isolierenden Widerstandsbe...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Bünger, Thomas
Other Authors: TU Bergakademie Freiberg, Werkstoffwissenschaft und Werkstofftechnologie
Format: Doctoral Thesis
Language:deu
Published: Technische Universitaet Bergakademie Freiberg Universitaetsbibliothek "Georgius Agricola" 2009
Subjects:
Galliumarsenid
Verbindungshalbleiter
Kristallzüchtung
Vertical Gradient Freeze
Kohlenstoffreglung
Widerstandskontrolle
Kohlenstoffgehalt
Spezifischer Widerstand
ddc:530
rvk:UQ 2000
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:105-1652461
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:105-1652461
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/2175/WerkstoffwissenschaftenBXngerThomas165246.pdf
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http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:105-1652461
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:105-1652461
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/2175/WerkstoffwissenschaftenBXngerThomas165246.pdf

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