Präparation von Ni-C-Multischichten und Mischsystemen mit dem PLD-Zweistrahlverfahren und Untersuchung der thermischen Stabilität der Schichtsysteme

Präparation von Ni-C-Multischichten und Mischsystemen mit dem PLD-Zweistrahlverfahren und Untersuchung der thermischen Stabilität der Schichtsysteme

The Pulsed Laser Deposition is an established method for the preparation of thin films and nm layer systems. In this work a cross beam PLD system is used as a special development for reduction of macro particle contamination in the growing layer. Two plasma plumes which overlap under a defined angle...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Sewing, Andreas
Other Authors: Technische Universität Dresden, Maschinenwesen
Format: Doctoral Thesis
Language:deu
Published: Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden 2003
Subjects:
Dünne Schichten
Kohlenstoff
Laserablation
Multischichten
Nickel
carbon
multilayer
nickel
pulsed laser deposition
thin films
ddc:29
rvk:UP 7550
Dünne Schicht
Impulslaserbeschichten
Mehrschichtsystem
Mischsysteme
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:14-1047473066171-20395
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:14-1047473066171-20395
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/1015/1047473066171-2039.pdf

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:14-1047473066171-20395
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:14-1047473066171-20395
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/1015/1047473066171-2039.pdf

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