Plasmaunterstützte-Wirbelbett-CVD und spektroskopische Charakterisierung von kohlenstoffhaltigen Schichten auf pulverförmigen Substraten
Die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PE-CVD) hat sich als eines der wichtigsten Dünnschichtverfahren etabliert. Für die Bearbeitung von Pulvern haben sich in der Technik Wirbelbettverfahren bewährt. Beide Verfahren sind an sich gut untersucht und verstanden. In der Arbeit wird ein...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | deu |
| Published: |
Universitätsbibliothek Chemnitz
2004
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200400963 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200400963 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4849/data/engisch.pdf http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4849/20040096.txt |