Entwicklung eines frequenzselektiven Schwingungsmesssystems mit abstimmbaren mikromechanischen Resonatoren
In der vorliegenden Arbeit wird die Entwicklung eines auf mikromechanischen Sensorstrukturen basierenden Schwingungsmesssystems dargestellt. Die Besonderheit besteht im frequenzselektiven Wirkprinzip. Der Sensor siebt an seiner Resonanzstelle aus einem breitbandigen Anregungssignal ein schmales Band...
Main Author: | |
---|---|
Other Authors: | |
Format: | Doctoral Thesis |
Language: | deu |
Published: |
Universitätsbibliothek Chemnitz
2005
|
Subjects: | |
Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200500197 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200500197 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4942/data/Dissertation_Scheibner.pdf http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4942/20050019.txt |