Herstellung ultraschmaler Leitbahnen mit herkömmlichen Prozessen und Untersuchungen zum Pore Sealing bei porösen low-k Dielektrika
Gegenstand dieser Arbeit sind zwei Problemstellungen der Mikroelektronik. Dies ist einerseits die Notwendigkeit zur Erzeugung kleiner Strukturgrößen um Untersuchungen an diesen durchzuführen. Innerhalb dieser Arbeit wurden ultraschmale Leitbahnen mit herkömmlichen Prozessen hergestellt, was den Eins...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Dissertation |
| Language: | deu |
| Published: |
Universitätsbibliothek Chemnitz
2005
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200500944 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200500944 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5017/data/diplar.pdf http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5017/20050094.txt |