Untersuchungen zum Wachstum dünner NiSi(2-x)Al(x)- und NiSi(2-x)Ga(x)-Schichten auf Si(001)
Im Rahmen dieser Arbeit wurden erste Untersuchungen zur Herstellung dünner NiSi(2-x)Al(x)- bzw. NiSi(2-x)Ga(x)-Schichten auf Si(001) erbracht. Dazu wurden Ni-Si-Al-Schichten mittels DC-Magnetron-Sputtern sowie Ni-Si-Ga-Schichten mittels Molekular-Strahl-Epitaxie (MBE) abgeschieden und anschließend...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | deu |
| Published: |
Universitätsbibliothek Chemnitz
2007
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200700328 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200700328 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5351/data/diss.pdf http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5351/20070032.txt |