STRUCTURAL, MECHANICAL, TRIBOLOGICAL PROPERTIES AND THERMAL STABILITY OF FLUORINATED AMORPHOUS CARBON FILMS DEPOSITED BY PECVD

COORDENAÇÃO DE APERFEIÇOAMENTO DO PESSOAL DE ENSINO SUPERIOR === Neste trabalho são apresentados os efeitos nas propriedades mecânicas, estruturais e tribológicas da incorporação de flúor em filmes de carbono amorfo hidrogenados depositados por Deposição na Fase Vapor Assistido por Plasma . A...

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Bibliographic Details
Main Author: MARCELO EDUARDO HUGUENIN MAIA DA COSTA
Other Authors: FERNANDO LAZARO FREIRE JUNIOR
Language:Portuguese
Published: PONTIFÍCIA UNIVERSIDADE CATÓLICA DO RIO DE JANEIRO 2005
Online Access:http://www.maxwell.vrac.puc-rio.br/Busca_etds.php?strSecao=resultado&nrSeq=6376@1
http://www.maxwell.vrac.puc-rio.br/Busca_etds.php?strSecao=resultado&nrSeq=6376@2