Estudo de filmes finos de carbeto de silício para aplicação em sensores piezoresistivos
Neste trabalho filmes finos de SiC amorfo foram depositados sobre substratos de silício pela técnica de magnetron sputtering com intuito de verificar a influência de fontes de potência DC e HiPIMS na qualidade dos filmes depositados. Também foi realizada a deposição de filmes de SiC sobre silício pe...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
Instituto Tecnológico de Aeronáutica
2013
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.bd.bibl.ita.br/tde_busca/arquivo.php?codArquivo=2260 |