Estudos das propriedades de filmes finos de óxidos semicondutores dirigidos aos efeitos piezoresistivos
Nesse trabalho são apresentados estudos sobre a deposição de filmes finos de óxidos semicondutores, óxido de zinco (ZnO), dióxido de titânio (TiO2) e dióxido de silício (SiO2), por meio da técnica denominada magnetron sputtering, utilizando fontes de potência de rádio frequência e corrente contínua....
| Main Author: | |
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| Format: | Others |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
Instituto Tecnológico de Aeronáutica
2013
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.bd.bibl.ita.br/tde_busca/arquivo.php?codArquivo=2276 |