Comportamento térmico de bolhas híbridas de Ne-He produzidas por implantação iônica em Si

Em um trabalho anterior verificou-se que a formação de bolhas de He pressurizadas em um substrato Si é capaz de melhorar a qualidade cristalina de uma estrutura GaN/AlN crescida heteroepitaxialmente sobre Si. As bolhas atraem as discordâncias geradas na interface com o substrato Si e as redireciona...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Matos, Ludmar Guedes
Other Authors: Maltez, Rogério Luis
Format: Others
Language:Portuguese
Published: 2013
Subjects:
Online Access:http://hdl.handle.net/10183/70333