Comportamento térmico de bolhas híbridas de Ne-He produzidas por implantação iônica em Si
Em um trabalho anterior verificou-se que a formação de bolhas de He pressurizadas em um substrato Si é capaz de melhorar a qualidade cristalina de uma estrutura GaN/AlN crescida heteroepitaxialmente sobre Si. As bolhas atraem as discordâncias geradas na interface com o substrato Si e as redireciona...
Main Author: | Matos, Ludmar Guedes |
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Other Authors: | Maltez, Rogério Luis |
Format: | Others |
Language: | Portuguese |
Published: |
2013
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Subjects: | |
Online Access: | http://hdl.handle.net/10183/70333 |
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