Estudo dos mecanismos de limpeza por plasma
Tese (doutorado) - Universidade Federal de Santa Catarina, Centro Tecnológico. Programa de Pós-Graduação em Ciência e Engenharia de Materiais. === Made available in DSpace on 2012-10-23T21:38:02Z (GMT). No. of bitstreams: 1 258137.pdf: 3889394 bytes, checksum: 416b0c7e560a0b0fc745151fdc17d337 (MD5)...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
Florianópolis, SC
2012
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://repositorio.ufsc.br/xmlui/handle/123456789/91332 |