Investigação das correlações entre parâmetros de deposição e propriedades estruturais e mecânicas de filmes de TiN preparados por sputtering reativo

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Bibliographic Details
Main Author: Affonço, Lucas Jorge
Other Authors: Universidade Estadual Paulista (UNESP)
Language:Portuguese
Published: Universidade Estadual Paulista (UNESP) 2018
Subjects:
Nitreto de titânio
Raios X
Dureza
Módulo de elasticidade
Microestrutura
Sputtering
Titanium nitride
X ray
Hardness
Elastic modulus
Microstructure
Online Access:http://hdl.handle.net/11449/157134

Internet

http://hdl.handle.net/11449/157134

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