Micro e nanofabricação (fabricação de contatos eletricos) por feixe de ions focalizados
Orientadores: Jacobus Willibrordus Swart, Stanislav Moshkalev === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação === Made available in DSpace on 2018-08-13T05:10:33Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Silva_MarceloMacchida_M.pdf: 6148337 bytes,...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
[s.n.]
2007
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| Subjects: | |
| Online Access: | SILVA, Marcelo Macchi da. Micro e nanofabricação (fabricação de contatos eletricos) por feixe de ions focalizados. 2007. 78 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/259243>. Acesso em: 13 ago. 2018. http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/259243 |
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SILVA, Marcelo Macchi da. Micro e nanofabricação (fabricação de contatos eletricos) por feixe de ions focalizados. 2007. 78 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/259243>. Acesso em: 13 ago. 2018.http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/259243