Contribuição a simulação computacional do processo de LPCVD

Contribuição a simulação computacional do processo de LPCVD

Orientador: Vitor Baranauskas === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica === Made available in DSpace on 2018-07-13T21:52:03Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Rodolpho_AugustoCesar_M.pdf: 3483998 bytes, checksum: c618e7addaa7e71c129db369fed698ce (MD5)...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Rodolpho, Augusto Cesar
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 1990
Subjects:
Simulação (Computadores)
Semicondutores
Online Access:RODOLPHO, Augusto Cesar. Contribuição a simulação computacional do processo de LPCVD. 1990. 63f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/259953>. Acesso em: 13 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/259953

Internet

RODOLPHO, Augusto Cesar. Contribuição a simulação computacional do processo de LPCVD. 1990. 63f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/259953>. Acesso em: 13 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/259953

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