Sistema de fotorrepetição para fabricação de circuitos integrados

Sistema de fotorrepetição para fabricação de circuitos integrados

Orientador : Carlos Ignacio Zamitti Mammana === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas === Made available in DSpace on 2018-07-14T14:15:33Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Brito_AiltondeSousa_M.pdf: 3081096 bytes, checksum: 38d549ed93e4cd9cb0dd200...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Brito, Ailton de Sousa
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 1982
Subjects:
Circuitos integrados
Filmes espessos - Circuitos ótica integrada
Online Access:BRITO, Ailton de Sousa. Sistema de fotorrepetição para fabricação de circuitos integrados. 1982. 1v. (varias paginações). Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/260421>. Acesso em: 14 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/260421

Internet

BRITO, Ailton de Sousa. Sistema de fotorrepetição para fabricação de circuitos integrados. 1982. 1v. (varias paginações). Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/260421>. Acesso em: 14 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/260421

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