Estudo da viabilidade da deposição de tungstenio em um sistema RP/RTCUD

Estudo da viabilidade da deposição de tungstenio em um sistema RP/RTCUD

Orientador: Peter Jurgen Tatsch === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica === Made available in DSpace on 2018-07-21T23:24:13Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Oliveira_Clivaldode_M.pdf: 2687977 bytes, checksum: 0bf6d83af9804e0d851d31e4eec92f67 (MD5)...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Oliveira, Clivaldo de
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 1996
Subjects:
Vapor - Deposição
Tungstênio
Online Access:OLIVEIRA, Clivaldo de. Estudo da viabilidade da deposição de tungstenio em um sistema RP/RTCUD. 1996. 66f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/261580>. Acesso em: 21 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/261580

Internet

OLIVEIRA, Clivaldo de. Estudo da viabilidade da deposição de tungstenio em um sistema RP/RTCUD. 1996. 66f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/261580>. Acesso em: 21 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/261580

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