Caracterização da deposição e corrosão dos filmes finos de carbono amorfo hidrogenado (a-C:H) por plasma de RF

Orientador: Edmundo da Silva Braga === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação === Made available in DSpace on 2018-07-23T20:25:40Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Balachova_OlgaViatcheslavovna_M.pdf: 2958862 bytes, checksum: 8693c34cf...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Balachova, Olga Viatcheslavovna
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 1998
Subjects:
Online Access:BALACHOVA, Olga Viatcheslavovna. Caracterização da deposição e corrosão dos filmes finos de carbono amorfo hidrogenado (a-C:H) por plasma de RF. 1998. 52f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/261739>. Acesso em: 23 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/261739