Detecção de defeitos em estruturas semicondutoras através da microscopia fototérmica de reflexão : a interferência optotérmica e o aumento de contraste

Detecção de defeitos em estruturas semicondutoras através da microscopia fototérmica de reflexão : a interferência optotérmica e o aumento de contraste

Orientador: Antonio Manuel Mansanares === Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica "Gleb Wataghin" === Made available in DSpace on 2018-07-27T09:21:04Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Batista_JeriasAlves_D.pdf: 1261891 bytes, checksum: 59e98feb486a91e11d18ea4e3...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Batista, Jerias Alves
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 2001
Subjects:
Microscópio e microscopia - Técnica
Difusividade térmica
Interferência (Luz)
Online Access:BATISTA, Jerias Alves. Detecção de defeitos em estruturas semicondutoras através da microscopia fototérmica de reflexão: a interferência optotérmica e o aumento de contraste. 2001. 137 p. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica "Gleb Wataghin", Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/277290>. Acesso em: 27 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/277290

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BATISTA, Jerias Alves. Detecção de defeitos em estruturas semicondutoras através da microscopia fototérmica de reflexão: a interferência optotérmica e o aumento de contraste. 2001. 137 p. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica "Gleb Wataghin", Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/277290>. Acesso em: 27 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/277290

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