Detecção de defeitos em estruturas semicondutoras através da microscopia fototérmica de reflexão : a interferência optotérmica e o aumento de contraste
Orientador: Antonio Manuel Mansanares === Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica "Gleb Wataghin" === Made available in DSpace on 2018-07-27T09:21:04Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Batista_JeriasAlves_D.pdf: 1261891 bytes, checksum: 59e98feb486a91e11d18ea4e3...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
[s.n.]
2001
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| Subjects: | |
| Online Access: | BATISTA, Jerias Alves. Detecção de defeitos em estruturas semicondutoras através da microscopia fototérmica de reflexão: a interferência optotérmica e o aumento de contraste. 2001. 137 p. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica "Gleb Wataghin", Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/277290>. Acesso em: 27 jul. 2018. http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/277290 |