Célula de pressão biaxial e aplicações em filmes semicondutores

Orientador: Fernando Iikawa === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin === Made available in DSpace on 2018-08-02T08:29:49Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Godoy_MarcioPeronFrancode_M.pdf: 1005871 bytes, checksum: d3c091fe4907e20f12f78e9cd519761d (M...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Godoy, Marcio Peron Franco de
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 2002
Subjects:
Online Access:GODOY, Marcio Peron Franco de. Célula de pressão biaxial e aplicações em filmes semicondutores. 2002. 78f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/277781>. Acesso em: 2 ago. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/277781