Célula de pressão biaxial e aplicações em filmes semicondutores
Orientador: Fernando Iikawa === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin === Made available in DSpace on 2018-08-02T08:29:49Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Godoy_MarcioPeronFrancode_M.pdf: 1005871 bytes, checksum: d3c091fe4907e20f12f78e9cd519761d (M...
Main Author: | Godoy, Marcio Peron Franco de |
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Other Authors: | UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS |
Format: | Others |
Language: | Portuguese |
Published: |
[s.n.]
2002
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Subjects: | |
Online Access: | GODOY, Marcio Peron Franco de. Célula de pressão biaxial e aplicações em filmes semicondutores. 2002. 78f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/277781>. Acesso em: 2 ago. 2018. http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/277781 |
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