Litografia por oxidação anódica seletiva de nanodispositivos através de microscopia de força atômica

Litografia por oxidação anódica seletiva de nanodispositivos através de microscopia de força atômica

Orientadores: Gilberto Medeiros Ribeiro, Jose A. Brum === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin === Made available in DSpace on 2018-08-11T11:03:18Z (GMT). No. of bitstreams: 1 FernandezSiles_PabloRoberto_M.pdf: 9728988 bytes, checksum: 0fd358f...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Fernández Siles, Pablo Roberto
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 2006
Subjects:
Semicondutores
Nanofabricação
Oxidação anodica seletiva
Microscopia de força atômica
Nanodispositivos
Semiconductors
Nanofabrication
Local anodic oxidation
Atomic force microscopy
Nanodevices
Online Access:FERNÁNDEZ SILES, Pablo Roberto. Litografia por oxidação anódica seletiva de nanodispositivos através de microscopia de força atômica. 2006. 105 p. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/277825>. Acesso em: 11 ago. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/277825

Internet

FERNÁNDEZ SILES, Pablo Roberto. Litografia por oxidação anódica seletiva de nanodispositivos através de microscopia de força atômica. 2006. 105 p. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/277825>. Acesso em: 11 ago. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/277825

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