Difração Bragg-Superficie (BSD) : uma sonda de alta resolução para o estudo da implantação de íons em semicondutores

Difração Bragg-Superficie (BSD) : uma sonda de alta resolução para o estudo da implantação de íons em semicondutores

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Orientador: Lisandro Pavie Cardoso === Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica "Gleb Wataghin" === Made available in DSpace on 2018-08-06T14:37:07Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Orloski_RenataVillela_D.pdf: 9544671 bytes, checksum: 925b3429c72cbe20c4e9a671e7...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Orloski, Renata Villela
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 2006
Subjects:
Raios X - Difração
Difração Bragg-Superfície
Semicondutores
Implantação iônica
Junções rasas
X-Rays - Diffraction
Bragg-surface diffraction
Semiconductors
Ion implantation
Shallow junction
Online Access:ORLOSKI, Renata Villela. Difração Bragg-Superficie (BSD): uma sonda de alta resolução para o estudo da implantação de íons em semicondutores. 2006. 107p. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica "Gleb Wataghin", Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/278176>. Acesso em: 6 ago. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/278176

Internet

ORLOSKI, Renata Villela. Difração Bragg-Superficie (BSD): uma sonda de alta resolução para o estudo da implantação de íons em semicondutores. 2006. 107p. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica "Gleb Wataghin", Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/278176>. Acesso em: 6 ago. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/278176

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