Estudo de técnicas de nanofabricação aplicada à filmes semicondutores
Este trabalho teve como objetivo principal o estudo de técnicas de nanofabricação aplicadas a filmes semicondutores do grupo 111-V, crescidos pela técnica de epitaxia por feixe molecular. Padrões, visando o domínio da técnica e a produção de nano-estruturas foram criados em filmes de GaAs utiliz...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade de São Paulo
1999
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76132/tde-01042014-171353/ |